Автоматическое оборудование для очистки кремниевого сырья

Автоматизированная система управления
Управление реализуется с помощью сенсорного экрана + ПЛК. Полностью автоматизированные операции процесса очистки (в том числе загрузка, очистка, сушка, разгрузка) выполняются с использованием сервоприводимой тележки или роботизированного манипулятора, что снижает риск контакта персонала с опасными химическими веществами.
Система поддерживает функции таймера, подогрева, светового и звукового сигнала тревоги, а также позволяет предустановить несколько наборов технологических параметров для удовлетворения различных потребностей в очистке.

Многоступенчатый технологический процесс очистки

Технологический процесс очистки кремниевых пластин:
Загрузка и замачивание → Ультразвуковая очистка → Ультразвуковая кислотная очистка → Ультразвуковое промывание → Ультразвуковая щелочная очистка → Ультразвуковая щелочная очистка → Ультразвуковое промывание → Ультразвуковое промывание → Ультразвуковое промывание → Дезгидратация с медленным подъемом → Высушивание → Разгрузка.
Технологический процесс удаления клея с кремниевых стержней:
Загрузка и замачивание → Очистка под давлением распылением → Очистка под давлением распылением → Ультразвуковая очистка → Ультразвуковая очистка → Удаление клея горячей водой → Удаление клея горячей водой → Разгрузка.
Благодаря применению технологий химической мокрой очистки (например, растворы SC-1/SC-2), ультразвуковых колебаний, промывания распылением и сушки обеспечивается достижение нанометровой чистоты поверхности кремниевых пластин.